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  • 日企大举攻坚EUV光刻!砸90亿力夺半导体设备高地
    时间:2020-09-09   作者:admin  点击数:

    原标题:日企大举攻坚EUV光刻!砸90亿力夺半导体设备高地

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    芯东西(ID:aichip001)

    编 | 董温淑

    芯东西7月13日消休,要想制造5nm及更先辈芯片,离不开EUV(极紫表光)光刻技术,现在众家日本芯片设备制造商正积极掠夺EUV适用的制造设备市场份额。

    2020财年,全球第三大半导体设备制造商东京电子(Tokyo Electron)拣出1350亿日元(约相符87.8亿人民币)用于EUV高端设备研发,这是东京电子本财年最大一笔研发付出开支。行为全球唯逐一家EUV适用的芯片检测设备制造商,日本的Lasertec已获得658亿日元(约相符43.4亿人民币)的订单。

    一、 EUV技术将为芯片制造设备市场带来近4000亿收好

    芯片添工精度取决于光刻机光线的波长,光线波长越幼,芯片精度越高。随着摩尔定律发展,芯片制造迈进10nm节点,波长13.4nm的EUV(极紫表光)就成为唯一的选择。

    据《日本经济消休》报道,EUV技术每年能够为芯片制造设备市场带来的的价值超过6万亿日元(约相符565亿美元、3970亿人民币)。

    现在,荷兰光刻机制造商ASML在光刻机市场中占有主导地位,也是唯一能生产EUV光刻机的厂商。台积电、三星电子等全球领先的芯片制造商从2019年最先用ASML生产的EUV光刻机生产芯片。

    另表,5G和其他先辈技术的发展也导致高端芯片需要量添长,进一步驱动着EUV市场的发展。

    在这一风口下,芯片设备制造商正竭力开发与EUV光刻技术配套的其他设备。日本厂商成为这一周围的活跃者,正添大对EUV光刻检测设备、EUV光源设备的投入。

    二、砸钱研发?赢订单?日本玩家望好EUV市场

    东京电子是全球第三大半导体设备制造商,主要产品是光阻涂布及显影体系(coater/developer )。在适用于EUV的大周围生产用光阻涂布及显影体系市场中,东京电子占有了一切市场份额。

    2020财年,东京电子计划投入1350亿日元(约相符12.5亿美元、87.8亿人民币)用于EUV设备的研发,该研发项现在将于2020年3月31日终结。另表,东京电子计划拿出今年相符并出售额的10%(展望为1.28万亿日元,约相符843.9亿人民币),用于巩固其在EUV设备周围的前沿地位。

    东京电子总裁河井俊树说:“倘若EUV得到普及行使,对于高端设备的需要将会增补。”

    另一家日本半导体设备公司Lasertec倚赖芯片检测设备从EUV技术风口中赚钱。从往年7月至今年3月,Lasertec赢得价值658亿日元(约相符43.4亿人民币)的EUV适用检测设备订单,订单额比往年同期添长2.2倍,展望该设备的订单将占有Lasertec全年订单的三分之二。

    Lasertec公司位于日本横滨,其产品能够在基于EUV技术的芯片生产过程中进走早期测试。现在,Lasertec是该周围唯逐一家制造商。

    三、日本 EUV光源厂商拟打“翻身仗”

    日本企业之间的竞争也在添剧。在电子束掩膜光刻设备市场,东芝集团旗下的NuFlare Technology、日本电子(JEOL)、奥地利IMS Nanofabrication形成一个联盟,正在荟萃开发能够发射26万束激光的“众光束”设备。

    为了防止被全球最大的光掩膜板制造商豪雅(Hoya)收购,今年一月份首,东芝强化对NuFlare Technology的限制,向后者添派25名工程师及其他管理者,以期在2020财年实现下一代EUV适用设备出货。

    在EUV技术展现之前,日本修建死板制造商Komatsu旗下子公司Gigaphoton,与Cymer并称为全球前两大曝光机用光源制造商。2013年,ASML收购了Cymer,Gigaphoton所以在曝光机用光源市场失踪上风。

    近期,Gigaphoton计划经过开发新的光源部件夺回市场份额,并拟在2022年ASML发布新一代EUV光刻机之前完善这一过程。

    结语: EUV技术将添速芯片设备制造市场洗牌

    按照国际半导体和原料协会(SEMI)和日本半导体设备协会的数据,常见问题在以前20年间,日本芯片设备制造商保持着30%的市场份额,2019年这一数据为31.3%。

    日本的尼康和佳能一度主导着全球光刻机市场,但从2007年首被荷兰的ASML彻底超越,随后屏舍了对EUV技术的研发。

    近期,随着市场对先辈制程芯片的需要添大,EUV技术随之迎来风口。东京电子等日本芯片制造设备厂商正积极组织,以期在新的市场格局中占有有利地位。Lasertec公司则从EUV风口中赚钱,其EUV适用的芯片检测设备大卖。

    行为突破10nm制程节点必不能少的技术,EUV或将成为驱动芯片设备市场转折的一个关键因素。

    现在,在芯片设备制造市场中,“赢者通吃”的趋势正越发强劲,制造过程中的提战也日好添众。由EUV技术引发的新一代产品变革,将添速减少芯片设备制造商的数目。

    文章来源:Nikkei Asian Review

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